アートワーク
鹿児島工場
・描画機(Em:5台)
・自動外観検査機
加工能力
種類
エマルジョンマスク
フィルム
ガラス乾板
製品サイズ
MAX 28×32inch
製品厚み
0.175mm
1.8~5.0mm
最小線幅
25μm
線幅精度
±3μm~
±2μm~
適用分野
各種多層パッケージ用フォトマスク
(2方向、4方向、マトリスク)
各種露光用フォトマスク
回路基板用フォトマスク
フィルムゲージ
液晶ディスプレイ